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复投灌料一体机
复投灌料一体机包含复投灌料机、机器人自动上料倒料模组、双层接驳位、复投线边库等部分,可实现单配方四种物料不同重量的灌料组合,可对接150KG、140KG复投筒,采用垂直灌装形式,改善灌料环境的同时,提高灌料效率。
坩埚装料一体机
坩埚装料一体机包含坩埚装料模组、坩埚搬运模组、开盖模组、双层接驳位、坩埚线边库等部分,可实现最多四种硅料不同重量的装埚作业,最大可兼容40寸坩埚,降低人工作业的强度,改善装料环境。
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