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半导体晶圆立体库
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劲旅环境
产品介绍
该设备是为半导体工厂设计制作的晶圆立体库,用于成品晶圆盒的立体仓储,取代了人工作业模式,实现智能出入库、自动仓储等功能,可根据现场情况实现与前后工序的自动化衔接,数字化、信息化管控。
产品特点
立体库以晶圆cassette为单位进行仓储,采用箱式库规划,可兼容多尺寸、多规格cassette的混合仓储; 相比半导体传统stoker,该系统可充分利用厂房高度,增加仓储量,优化厂房利用率,实现降本增效; 根据产品特点开发轻型高速堆垛机,相比stoker与传统堆垛机,更适于半导体工厂的生产特点; 通过与EAP、MES系统互联,实现数据自动采集和管控。
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