PRODUCT DETAILS
倒角自动上下料系统
倒角自动上下料系统
产品介绍
该设备是为半导体衬底工厂倒角工序设计制作的自动上下料设备，包含倒角区前后立体库、空中输送系统、地轨机器人系统等，取代了人工上下料作业模式，与前后工序实现了自动化衔接，数字化、信息化管控。
产品特点
整套系统以晶圆cassette为单位搬运，实现半导体晶圆的集结、缓存、按批次加工；
相比半导体传统OHT、stoker、conveyer、RGV等自动化设备，该系统可实现多尺寸cassette兼容搬运，且线边缓存数量与搬运速度均有较大优势，实现降本增效；
取代人工实现倒角工序的缓存集结、按批加工、自动上下料等功能；
通过与EAP、MES系统互联，实现数据自动采集和管控。
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产品介绍
该设备是为半导体衬底工厂倒角工序设计制作的自动上下料设备，包含倒角区前后立体库、空中输送系统、地轨机器人系统等，取代了人工上下料作业模式，与前后工序实现了自动化衔接，数字化、信息化管控。
产品特点
整套系统以晶圆cassette为单位搬运，实现半导体晶圆的集结、缓存、按批次加工；
相比半导体传统OHT、stoker、conveyer、RGV等自动化设备，该系统可实现多尺寸cassette兼容搬运，且线边缓存数量与搬运速度均有较大优势，实现降本增效；
取代人工实现倒角工序的缓存集结、按批加工、自动上下料等功能；
通过与EAP、MES系统互联，实现数据自动采集和管控。
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