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Stocker
该设备为洁净型高密度仓储设备,常用于半导体无尘车间中FOUP等物料的临时仓储,可灵活对接多种自动化设备,如OHT、AMR、conveyor、robot等,实现线边快速仓储。
磨片后清洗机
该设备是半导体硅片磨片后的自动框式清洗设备,独创的框式甩干可更好地实现硅片磨片后清洗的自动化生产。
喷砂后清洗机
该设备是半导体硅片喷砂后的自动清洗设备,根据工艺需求可选配双甩干机,更好地提升产能。
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